Siegfried Maria Schiller (* 16. Februar 1933 in Simsdorf, Landkreis Jauer) ist ein deutscher Physiker. Er fungierte ab 1965 als stellvertretender Direktor des Forschungsinstituts Manfred von Ardenne und ab 1980 als Professor an der Technischen Universität Dresden. Ab 1991 leitete er das neugegründete Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- un...